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Sensofar共聚焦白光干涉儀|對粗糙度和薄膜厚度的測量

更新時間:2024-07-03點擊次數:1146

****,光學應用是一個具有挑戰性的應用:樣品非常光滑、平坦,有時是透明的。只有**輪廓儀才能對其進行成像,并滿足該領域的嚴格要求。我們對透鏡和濾光片的經驗在于器件粗糙度、微透鏡陣列和薄膜厚度的測量。

White Paper Super Smooth Surfaces

微透鏡陣列

球面透鏡

球面透鏡具有更簡單的設計和更低的制造成本,應用范圍廣泛。

 

可以分析尺寸和Sa、Sq和Sz粗糙度參數。

非球面透鏡

以其較小的像差而著稱,非球面透鏡適用于光學設計,有極少的元件會尋求更好的性能。

 

可以分析曲率半徑,尺寸和10個非球面變形系數以及Sa、Sq和Sz粗糙度參數。

Array of microlenses_Spheric

Array of microlenses_Aspheric

相機鏡頭

可以在我們的軟件SensoVIEW中執行量測區域的體積計算。

Optics camera lenses topo

 

SensoVIEW分析軟件對不同尺寸的孔具有非常高的靈敏度(該樣品的d=2mm)。

多邊形透鏡

六邊形微透鏡是透鏡微陣列中使用的典型幾何結構,它們因其高密度而引人注目。

 

Optics polygonal lenses topo


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