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Zygo光學輪廓儀:微納表面測量方案

產品簡介

Zygo光學輪廓儀:微納表面測量方案
Zygo白光干涉光學輪廓儀采用非接觸式測量技術,為微納米級表面形貌檢測提供有效解決方案,適用于半導體、光學元件和精密制造等領域。

產品型號:
更新時間:2025-10-19
廠商性質:代理商
訪問量:117
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產品概述

Zygo光學輪廓儀:微納表面測量方案  Zygo白光干涉光學輪廓儀采用非接觸式測量技術,為微納米級表面形貌檢測提供有效解決方案,適用于半導體、光學元件和精密制造等領域。

性能特點

  • 多模式測量:支持白光干涉和相移干涉模式

  • 寬范圍測量:垂直測量范圍可達10mm

  • 快速掃描:單次測量時間可控制在秒級

  • 高重復性:測量結果穩定可靠

用材與工藝

  • 光學系統:高精度干涉物鏡組

  • 機械平臺:花崗巖基座配合空氣隔振

  • 探測系統:高分辨率CCD傳感器

  • 控制系統:模塊化電子系統

參數表

型號NewView 9000NewView 7000
垂直分辨率0.1nm0.5nm
水平視場0.1-10mm0.2-8mm
測量速度5秒/次10秒/次
最大樣品高度150mm100mm
物鏡選項2.5X-100X5X-50X

典型用途

  • 晶圓表面缺陷檢測

  • 光學鏡面面形測量

  • MEMS器件三維形貌分析

  • 材料表面粗糙度評估

使用說明

  1. 樣品準備:確保待測表面清潔無污染

  2. 參數設置:選擇合適的光學模式和放大倍率

  3. 自動對焦:使用軟件輔助對焦功能

  4. 開始測量:啟動自動掃描程序

  5. 數據分析:通過配套軟件處理測量結果

維護建議

  • 定期清潔光學元件

  • 保持實驗室環境穩定

  • 避免設備受到振動影響

  • 定期進行設備校準

結語:
Zygo光學輪廓儀以可靠的測量性能,為工業檢測和科研工作提供支持。如需了解更多信息,歡迎咨詢專業技術團隊。Zygo光學輪廓儀:微納表面測量方案


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