ZYGO白光干涉光學輪廓儀采用非接觸式測量技術，適用于多種材料表面的三維形貌測量。其非接觸式測量方式避免了對樣品的物理損傷，適用于多種材料和復雜表面的測量。設備具備高精度和高分辨率，支持多種測量模式，適用于不同表面特性樣品的測量。ZYGO白光干涉儀：高精度非接觸式測量

產品性能

• •測量范圍：0.1nm至10mm（垂直方向）

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• •橫向分辨率：最高可達0.5μm

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• •重復性：優于0.1%

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• •支持多種測量模式：臺階高度、粗糙度、薄膜厚度等

用材與結構

儀器主體采用高穩定性鋁合金框架，光學部件選用低熱膨脹系數玻璃，確保長期測量穩定性。載物臺采用防震設計，減少環境振動干擾。

參數表

用途

• •半導體晶圓檢測

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• •光學鏡面質量分析

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• •MEMS器件形貌測量

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• •精密機械加工表面評估

使用說明

1.開機預熱10分鐘，確保系統穩定。

2.放置樣品于載物臺，調整焦距至干涉條紋清晰。

3.選擇測量模式，設定掃描參數。

4.軟件自動分析數據，生成3D形貌圖及關鍵參數。

ZYGO白光干涉儀：高精度非接觸式測量 ZYGO白光干涉光學輪廓儀