ZYGO三款光學輪廓儀對比

ZYGO的ZeGage Pro、NewView 9000和Nexview NX2均基于成熟的CSI技術，但在設計理念和應用定位上各有側重，為用戶提供了不同層次的選擇。

定位與設計對比：

• ZeGage Pro：定位為便捷式解決方案。一體式設計使其開箱即可使用，減少了復雜的配置過程，適合空間有限的生產線或需要快速部署的實驗室。

• NewView 9000：定位為靈活可擴展的研發級平臺。模塊化設計允許用戶根據未來需求升級系統功能，適用于多變的研究和開發環境。

• Nexview NX2：定位為專用型在線檢測系統。其一切設計都圍繞處理大尺寸晶圓和實現全自動化檢測，專為半導體制造流程優化。

性能與用途對比：
三款儀器在核心測量能力（垂直分辨率、精度）上均表現出色，但擴展性和專長不同。

• ZeGage Pro：覆蓋從光滑到粗糙表面的常規測量需求，勝任日常質檢。

• NewView 9000：通過更換物鏡和添加模塊，可應對更廣泛的樣品類型和更復雜的分析任務，如薄膜應力。

• Nexview NX2：專注于半導體行業，其價值體現在全自動、大批量的晶圓處理和分析能力上，速度和自動化可靠性是關鍵。

選擇建議：
用戶應根據自身的樣品尺寸、通量要求、檢測環境（實驗室或產線）以及未來需求來選擇。對于常規質檢，ZeGage Pro可能更為經濟高效；對于前沿研發，NewView 9000提供更多可能性；而對于半導體產線，Nexview NX2則是經過市場驗證的專業選擇。

ZYGO三款光學輪廓儀對比