認識ZYGO ZeGage Pro輪廓儀

ZYGO ZeGage Pro 是一款非接觸式的3D光學輪廓儀，致力于為科研與工業領域提供表面形貌的測量方案。它基于相干掃描干涉技術（CSI），能夠對從超光滑到微粗糙的各種表面進行三維形貌測量和二維輪廓分析。

在產品細節上，ZeGage Pro的設計緊湊，集成了光源、干涉物鏡、精密壓電掃描器和高分辨率相機于一體。其外殼采用工業級的鋁合金材料，確保了儀器在長時間運行中的穩定性和抗環境干擾能力。儀器正面配備了直觀的觸摸屏控制界面，使用戶能快速進行基礎操作和實時觀察。

該儀器的性能體現在其測量能力上。它能夠以納米級垂直分辨率捕捉表面細節，并提供大范圍的掃描區域。其重復性測量結果的一致性，有助于用戶進行可靠的對比和趨勢分析。無論是透明材料、金屬還是高反光表面，ZeGage Pro都能應對常見的測量挑戰。

核心參數概覽：

• 垂直分辨率： 可達亞納米級

  
  

• 平臺行程： 可選100mm x 100mm或200mm x 200mm電動平臺

  
  

• 物鏡： 多種倍率可選（如2.5X, 5X, 10X, 20X, 50X）

  
  

• 相機： 高分辨率百萬像素相機

  
  

• 光源： LED白光光源，壽命長，穩定性好

  
  

ZeGage Pro的用途廣泛，適用于半導體、光學制造、材料科學、精密加工和MEMS等多個行業。它常用于測量表面粗糙度、臺階高度、薄膜厚度、形貌結構以及進行缺陷檢測。

使用說明方面，ZeGage Pro配備了友好的操作軟件。用戶通過選擇合適的物鏡和測量模式，將樣品置于平臺上，通過軟件自動對焦和設置掃描范圍，即可開始自動測量。軟件內置的分析工具可輕松完成2D和3D參數計算、圖形繪制和報告生成。

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