雙模合一SensofarS lynx2的技術特點

Sensofar S lynx2的核心優勢在于其將共聚焦成像和白光干涉測量技術集成于一臺設備之中。這種“雙引擎"設計理念，使其在面對多樣化的樣品時，能展現出良好的適應性，為用戶提供了更寬廣的測量范圍。

共聚焦技術利用空間針孔來排除焦點以外的雜散光，從而能夠獲取樣品表面不同高度的光學切片。通過垂直掃描并重建這些切片，可以得到高對比度的三維表面形貌。這一技術對光線的利用效率較高，即使對于吸光材料或暗色樣品，也能獲得可信的測量數據。它尤其擅長處理陡峭側壁和粗糙表面。

白光干涉技術，又稱垂直掃描干涉術，利用白光短相干性的特性，通過尋找干涉條紋的對比度最大值來精確定位表面高度。這種技術對于光滑表面的微小起伏和納米級的臺階高度測量，能表現出良好的性能。

S lynx2的智能之處在于，其軟件系統能夠根據用戶選擇的物鏡和設置的測量參數，自動推薦或切換到合適的測量模式。例如，使用低倍物鏡觀察一個粗糙的噴砂表面時，系統會建議采用共聚焦模式；而換用高倍物鏡測量一個光滑的硅片臺階時，系統則會推薦白光干涉模式。這種自動化流程降低了對操作人員的技術要求，減少了因模式選擇不當而導致的測量誤差。

從用材上看，確保光學性能穩定是基礎。S lynx2的光路系統采用了鍍膜光學玻璃透鏡，以減少像差和色差，保證成像質量。掃描系統采用閉環壓電陶瓷驅動器，其重復定位性能有助于提升垂直方向的測量準確性。

這種技術上的融合，使得S lynx2成為了一臺“多面手"設備。它既不像單一共聚焦設備那樣在納米尺度上可能受限，也不像單一干涉儀那樣在面對粗糙表面時無能為力。對于預算有限但又需要應對多種測量挑戰的用戶來說，S lynx2提供了一個折中的解決方案。

雙模合一SensofarS lynx2的技術特點