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基恩士VK-X3000:三重掃描技術重構測量邊界

產品簡介

基恩士VK-X3000:三重掃描技術重構測量邊界
將優良技術轉化為易于使用的產品,是基恩士VK-X3000激光共聚焦顯微鏡的一個設計理念。它注重用戶的操作體驗,力求讓專業人員和新手都能快速上手并獲得可靠數據。

產品型號:
更新時間:2025-10-21
廠商性質:代理商
訪問量:76
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基恩士VK-X3000:三重掃描技術重構測量邊界

基恩士VK-X3000激光共聚焦顯微鏡以激光共聚焦、白光干涉、聚焦變化三重掃描模式為核心,突破傳統設備單一測量方式的局限。其激光共聚焦模塊采用404nm/661nm雙波長半導體激光光源,配合16bit感應光電倍增器,可實現0.01nm高度分辨率0.1nm寬度分辨率,適用于金屬、陶瓷等高反射率材料的納米級形貌分析。白光干涉模式則通過分光干涉原理,將膜厚測量重復精度控制在0.1nm以內,滿足半導體晶圓涂層厚度的嚴苛檢測需求。聚焦變化模式通過動態調整物鏡焦距,可無損測量透明聚合物或玻璃表面的微米級凹凸,解決傳統接觸式探頭易劃傷樣品的痛點。

性能參數表:全尺度覆蓋的測量能力

參數類別激光共聚焦模式白光干涉模式聚焦變化模式
測量范圍1nm-10mm1nm-1mm10μm-50mm
掃描速度面掃描125Hz面掃描50Hz面掃描30Hz
最大掃描區域50mm×50mm10mm×10mm50mm×50mm
典型應用場景半導體晶圓缺陷檢測光學薄膜厚度測量透明塑料表面粗糙度

硬件設計:模塊化結構適配多元場景

設備主體采用航空級鋁合金框架,搭配電動XY載物臺(手動模式支持70mm×70mm范圍,電動模式擴展至100mm×100mm),可承載重量達5kg的樣品。光學系統配置6孔電動鏡頭轉換器,支持2.5x-100x物鏡切換,并配備APO(復消色差)鏡頭組以消除色差。檢測器模塊集成超高精細彩色CMOS傳感器,像素數達560萬,可在單次掃描中同步獲取形貌數據與彩色紋理信息。

操作流程:智能化軟件降低使用門檻

用戶通過12英寸觸摸屏啟動設備后,系統自動識別樣品類型并推薦掃描模式。例如,檢測MEMS器件表面時,軟件會優先調用激光共聚焦模式,并預設0.5μm步進間距50次平均采樣參數。測量完成后,內置的292種分析工具可自動生成3D形貌圖、功率譜密度圖等報告,支持導出STL格式文件用于3D打印逆向工程。


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