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產品簡介
布魯克三維光學輪廓儀精準匹配需求在半導體領域，該設備用于測量硅晶圓薄膜厚度、光刻膠臺階高度及CMP后表面平整度，為工藝參數優化提供數據支持。
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布魯克三維光學輪廓儀精準匹配需求
在半導體領域，該設備用于測量硅晶圓薄膜厚度、光刻膠臺階高度及CMP后表面平整度，為工藝參數優化提供數據支持。精密制造行業通過其檢測刀具刃口磨損、注塑模具表面狀態，建立磨損檔案以預測部件壽命。材料科學研究中，科研人員利用其表征復合材料、金屬合金、高分子薄膜的表面特性，分析涂層均勻性與厚度變化。學術教育領域，直觀的操作界面與可視化功能使其成為表面計量學教學演示設備。設備支持多區域自動測量功能，用戶預設測量區域后，儀器可自動完成數據采集，提升復雜測量效率。
設備支持手動與半自動雙模式操作。手動模式下，操作人員通過微調旋鈕快速調整樣品位置與焦距，適配少量多批次樣品測量需求。半自動模式可預設掃描范圍、分辨率等參數，實現一鍵啟動測量，減少重復操作。軟件系統提供自動對焦、自動亮度調節功能，確保快速獲取清晰圖像。數據采集后，VisionXpress支持多種濾鏡與分析工具，可生成定制化分析報告，滿足粗糙度、關鍵尺寸等測量需求。日常維護建議定期清潔光學鏡頭與樣品臺，使用專用無塵布與鏡頭清潔劑，避免劃傷表面。設備應放置在潔凈、干燥、無強氣流與振動的環境中，定期進行性能驗證與校準，保障長期數據一致性。
布魯克三維光學輪廓儀精準匹配需求