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布魯克光學輪廓儀參數規格與型號適配指南

產品簡介

布魯克光學輪廓儀參數規格與型號適配指南
布魯克ContourX-200三維光學輪廓儀的長期穩定性與測量精度,與其材料選擇及加工工藝密不可分。從核心部件到外殼設計,每一處細節均圍繞“抗干擾、耐老化、易維護"展開。

產品型號:ContourX-200
更新時間:2025-10-21
廠商性質:代理商
訪問量:55
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布魯克光學輪廓儀參數規格與型號適配指南

布魯克ContourX-200三維光學輪廓儀提供標準化參數配置,同時支持部分模塊選配,以滿足不同用戶的多樣化需求。以下為核心參數概覽及型號適配建議:
基礎參數表
  • 尺寸(長×寬×高):450mm×350mm×400mm
  • 重量:≤25kg
  • 垂直測量范圍:100μm(標準模式)/1mm(擴展模式)
  • 垂直分辨率:≤0.5nm(典型值)
  • 橫向分辨率:0.2-1.5μm(隨物鏡倍率變化)
  • 測量速度:單幀50ms-2s(取決于掃描范圍與分辨率)
  • 光源:寬譜白光LED(400-700nm)
  • 接口:USB 3.0、千兆以太網、觸發輸入/輸出
  • 電源:AC 220V/50Hz,≤500W
型號區分
目前該系列提供兩款主流型號:

ContourX-200-Basic(基礎型):標配5×-50×物鏡,支持100μm垂直測量范圍,適合半導體晶圓、光學平面玻璃等常規樣品的表面形貌測量。
  • ContourX-200-Advanced(增強型):增加100×物鏡與1mm擴展測量模塊,支持更深臺階樣品(如MEMS溝槽、3D打印結構),并可選配自動聚焦與三維拼接功能。
選配功能
用戶可根據需求選裝
  • 高速掃描模塊:將單幀掃描時間縮短至20ms,適用于批量樣品的快速檢測;
  • 真空適配套件:配合真空環境測試,需配置真空腔與密封接口;
  • 多樣品臺:支持最多4個樣品預定位,提升產線檢測效率。
選型建議
若用戶主要測量芯片表面、光學鏡頭等常規樣品(臺階高度<100μm),基礎型已能滿足需求;若涉及MEMS器件(溝槽深度>200μm)或3D打印結構,增強型的1mm擴展模式與100×物鏡更具適配性。對于需要高速檢測的產線場景,建議選裝高速掃描模塊,并提前與技術團隊確認樣品兼容性。
清晰的參數與型號劃分,幫助用戶快速匹配自身需求,避免資源浪費或性能不足,是設備實用性的重要體現。布魯克光學輪廓儀參數規格與型號適配指南


布魯克光學輪廓儀參數規格與型號適配指南


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