布魯克光學輪廓儀應用場景與典型案例解析

產品簡介

布魯克光學輪廓儀應用場景與典型案例解析
布魯克ContourX-200三維光學輪廓儀憑借高分辨率與多尺度測量能力，在多個領域解決了傳統檢測手段難以應對的問題。以下通過三個典型場景，說明其實際應用價值。

產品型號：ContourX-200

更新時間：2025-10-21

廠商性質：代理商

訪問量：52

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三維光學輪廓儀

布魯克 BEUKER白光干涉光學輪廓儀 Sensofar 儀光新型共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR 3D光學輪廓儀 SENSOFAR共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR結構光三維輪廓儀 SENSOFAR平面度測量干涉儀 ZYGO三維光學輪廓儀布魯克三維光學輪廓儀

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布魯克光學輪廓儀應用場景與典型案例解析

布魯克ContourX-200三維光學輪廓儀憑借高分辨率與多尺度測量能力，在多個領域解決了傳統檢測手段難以應對的問題。以下通過三個典型場景，說明其實際應用價值。

場景一：半導體晶圓表面缺陷檢測

某芯片制造廠需檢測12英寸硅片的表面粗糙度與微劃痕。傳統接觸式輪廓儀易劃傷樣品，且掃描速度慢。使用ContourX-200的50×物鏡，設置掃描范圍1mm×1mm，單幀掃描時間2秒，10分鐘內完成整片晶圓的快速篩查。數據顯示，晶圓表面Ra值為0.3nm（低于工藝要求0.5nm），但在邊緣區域發現3處寬度80nm的微劃痕，為工藝優化提供了定位依據。

場景二：MEMS器件溝槽深度測量

某MEMS傳感器廠商需測量懸臂梁溝槽的深度（設計值5μm，公差±0.2μm）。樣品表面為反射率較低的氮化硅材質，傳統光學輪廓儀因信號弱難以準確測量。ContourX-200切換至“低反射模式"，延長曝光時間并增加增益，配合100×物鏡，成功捕捉到溝槽底部的干涉條紋。多次測量結果顯示，溝槽深度均值4.92μm，偏差0.08μm，滿足公差要求。

場景三：光學透鏡曲率半徑驗證

某光學元件公司需檢測非球面透鏡的曲率半徑（標稱值25mm，差＜0.1%）。傳統三坐標測量機無法測量曲面，接觸式輪廓儀易壓傷透鏡。ContourX-200使用100×物鏡，通過三維拼接功能掃描透鏡表面，生成完整的曲面模型。軟件擬合計算得曲率半徑24.98mm，差0.08%，驗證了產品符合設計要求。

這些案例表明，ContourX-200在微納尺度表面分析中，既能提供高精度數據，又能適應不同樣品特性，是研發與質量控制環節的可靠工具。其靈活性與穩定性，使其在半導體、MEMS、光學等領域得到廣泛應用。布魯克光學輪廓儀應用場景與典型案例解析

布魯克光學輪廓儀應用場景與典型案例解析