INSTECH P1000V-MPS 真空高溫探針臺的操作流程需遵循規范步驟，既保障設備安全穩定運行，也能確保測試數據的準確性，以下為詳細操作指引。
前期準備階段，需先檢查設備外觀與連接狀態：確認設備外殼無破損，真空管路、電源線、信號線連接牢固，無松動或破損；檢查真空系統的真空泵油位是否在規定范圍，油質無渾濁、變質現象；確認冷卻系統（若有）的冷卻液充足，管路無泄漏。隨后，打開設備總電源，啟動控制系統軟件，進入操作界面，檢查各模塊（溫控、真空、探針調節）的初始化狀態，確保無報錯信息，若出現異常需先排查故障后再繼續操作。
樣品放置與固定步驟需細致操作：打開真空腔體門，將待測試樣品放置在樣品臺中心位置，根據樣品尺寸與形狀，選擇合適的固定方式（如壓片固定、夾具固定），確保樣品固定牢固，無松動；若樣品需要電極接觸，需調整樣品位置，使樣品電極與探針預期接觸點對齊；關閉腔體門，確認門體密封良好，無縫隙，避免影響后續真空抽取。
真空系統啟動與調節需循序漸進：在控制系統界面選擇 “真空控制" 模塊，先開啟前級真空泵，待真空度降至一定數值（如 10Pa 以下）后，再開啟主真空泵（若為二級真空系統）；實時觀察真空度顯示數值，待真空度達到測試所需數值（如 10?3Pa）后，可選擇 “真空維持" 模式，系統將自動保持當前真空度；若測試過程中需調整真空度，可通過界面設定目標值，系統會自動調節真空泵運行狀態，避免真空度驟升驟降。
溫度控制與調節需根據測試需求設置：進入 “溫控模塊"，設定目標溫度與升溫速率，若需多段升溫，可設置分段溫度與保溫時間；啟動加熱功能，實時觀察溫度曲線與樣品臺溫度反饋，確保溫度按照設定曲線上升，無異常波動；達到目標溫度后，保持一定保溫時間（如 10-30 分鐘），待樣品溫度穩定后再開始測試，避免因樣品溫度未穩定導致測試數據偏差。
探針調節與測試階段需精準操作：通過控制系統的 “探針調節" 模塊，或設備自帶的手動調節機構，緩慢調整探針位置，使針尖逐漸靠近樣品電極；調節過程中需通過顯微鏡觀察針尖與樣品的接觸狀態，避免針尖用力過猛損傷樣品或針尖；接觸后，檢查電信號連接狀態，確認無信號中斷、干擾現象，隨后啟動測試程序，采集相關數據；測試過程中，實時監控設備各參數（溫度、真空度、信號強度），若出現異常立即暫停測試，排查問題。
測試結束后，需按規范關閉設備：先停止測試程序，關閉加熱功能，待樣品臺溫度降至室溫后，再關閉真空系統（先關主真空泵，待真空度回升至一定范圍后關前級真空泵）；打開腔體門，取出樣品，清潔樣品臺與探針針尖（若有殘留雜質，用專用清潔工具輕輕擦拭）；關閉設備控制系統軟件與總電源，整理測試數據與設備周邊環境，完成操作流程INSTEC真空高溫探針臺操作指南
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